洁净机械手臂
适用环境:真空、大气、微水 丨 适配搬运物尺寸:2"、3”、100mm、125mm、150mm、200mm、300mm

锐洁根据客户需求提供全面的定制化解决方案,与JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作

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适配全工艺段的产品系列

JEL官方合作伙伴,日本JEL公司在中国大陆的独家指定代理商和技术支持服务商。

提供多种规格型号的大气、真空、防水洁净机械手臂,具体可根据客户需求定制。满足半导体、泛半导体行业的物料搬运。

图片名称

手臂
条件:
清空条件

STCR4200SN-1300-PM-X520

被搬运物:最大尺寸为300mm的晶圆 洁净度:ISO标准Class1(驱动结构内部独立排气条件下)

STCR4130SN-300-CM-X1000

被搬运物:最大尺寸为300mm的晶圆 洁净度:ISO标准Class1(驱动结构内部独立排气条件下)

GTFR5280

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:553mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:320mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)

KHR3480-290-AM

大气使用环境下,可一次性搬运25片300mm晶圆

STCR4160SN

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:双臂 到达距离:315mm(手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程:200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量:3.0kg(手臂第3关节处基准)

GCR4210

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:400mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm / 320mm / 500mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)

SCR3160CSN

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:340mm(手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程:200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量:3.0kg(手臂第3关节处基准)

MTCR4160

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:双臂 到达距离:315mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm / 400mm / 500mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)

GCR4280

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:553mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm / 420mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)

GTCR5280

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:553mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)

STCR4160SN 真空吸附方式

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:双臂 到达距离:475mm(手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程:200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量:3.0kg(手臂第3关节处基准)

MCR3160C

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:400mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm / 400mm / 500mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)

SCR3160CS

使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:340mm(手臂第3关节中心) 升降轴最大行程:200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm 可搬运质量:3.0kg(手臂第3关节处基准)

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