产品详情
- 机械手臂标准臂长：210mm、280mm
- 机械手臂可以单独对应2个FOUP
- 适应设备需求可以选择底座固定方式或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速、高精度地搬运玻璃基板
- 采用AC伺服电机以及对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化，比GHR4000类型速度快1.8倍
- 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
- 手指材质：CFRP（碳纤维）、铝合金、高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类、设备布局等要求提供最优选择的手指
