锐洁根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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STCR4160SN 真空吸附方式

4轴圆柱坐标型洁净机械手臂——减薄晶圆及晶圆边缘区域真空吸附

使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：双臂 到达距离：475mm（手臂第3关节中心基准） 升降轴最大行程：200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量：3.0kg（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 适用于超级洁净间要求的4轴圆柱坐标洁净机械手臂 ■ 在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题，适用于减薄晶圆以及晶圆四周边缘区域真空吸附方式的新型双臂机械手臂
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产品咨询

产品详情

  • 采用不会发生丢步现象的控制方式控制步进电机
  • 高强度手臂/手臂第3关节处可承受3.0kg重量（包含腕部机构模块，晶圆的质量）
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式或者法兰固定方式

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