适配全工艺段的产品系列
JEL官方合作伙伴,日本JEL公司在中国大陆的独家指定代理商和技术支持服务商。
提供多种规格型号的大气、真空、防水洁净机械手臂,具体可根据客户需求定制。满足半导体、泛半导体行业的物料搬运。
被搬运物:最大尺寸为300mm的晶圆 洁净度:ISO标准Class1(驱动结构内部独立排气条件下)
被搬运物:最大尺寸为300mm的晶圆 洁净度:ISO标准Class1(驱动结构内部独立排气条件下)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:553mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:320mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)
大气使用环境下,可一次性搬运25片300mm晶圆
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:双臂 到达距离:315mm(手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程:200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量:3.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:400mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm / 320mm / 500mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:340mm(手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程:200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量:3.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:双臂 到达距离:315mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm / 400mm / 500mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:553mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm / 420mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的真空环境 手臂:双臂 到达距离:310mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:50mm 可搬运质量:2.0kg以下(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:312mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:200mm / 300mm 可搬运质量:3.0kg以下(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:553mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:双臂 到达距离:475mm(手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程:200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量:3.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:400mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm / 400mm / 500mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:340mm(手臂第3关节中心) 升降轴最大行程:200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm 可搬运质量:3.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境: 真空部:温度 15℃~50℃; 驱动结构内部:大气环境温度15℃~40℃ 手臂:单臂 到达距离:520mm(第3关节中心距离) 升降轴最大行程:20mm / 40mm 可搬运质量:2.0kg(第3关节换算)
使用环境:洁净间内的真空环境 手臂:单臂 到达距离:640mm(手臂第3关节中心到达距离) 升降轴最大行程:60mm 可搬运质量:10.0kg以下(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的真空环境 手臂:单臂 到达距离:1290mm(被搬送物体中心到达距离) 升降轴最大行程:60mm 可搬运质量:10.0kg
