自动化装载台
锐洁提供全面的载台产品解决方案：Load Port & SMIF Port & Frame Load Port & Open Casette Stage。锐洁独立研发的半导体晶圆自动装卸载系统，具有占地面积小、自动化程度高的特点，能够有效的提高产线效率，降低生产成本。
FOUP Load Port
Load Port 用于实现 8/12英寸晶圆的自动装载与卸载，确保晶圆在工艺流程中的洁净度，同时可与 AGV、OHT 等自动化运输设备协同，实现晶圆盒的无人化交接。可广泛应用于Lithography、Etching、CVD、PVD、Cleaning、Inspection and Metrology等半导体制程设备。
SMIF Port
用于半导体芯片制造产线实现 SMIF Pod 自动开关盒，避免晶圆受到污染，替代人工装载搬运，对接 OHT 天车系统，实现自动上下料及搬用功能，满足FAB厂自动化生产需求。
Load Port 产品特性
- Mapping 可实现晶圆有无、叠片、斜片检测。
- 可搭载符合 SEMI 标准的 FOUP、FOSB、转换平台+Cassette 等装载单元。
- 搭载载具自动识别功能。
- 可选 RFID 读取器。
- TCP/IP 通讯方式。
- 选配 SECS/GEM 接口。
- 门保持采用真空吸附法。
- 具备防夹功能。
- 运行周期开启操作：20s (包括Mapping操作)，关闭操作10s （不包括Mapping操作）。
SMIF Port 产品特点
- 用于放置和开关 125 mm、150 mm、200 mm 晶圆的 SMIF Pod，开盒方式为上开盖。
- 符合SEMI E63标准，开关盒时间：Open Pod≤15s ；Close Pod≤15s。
- 利用单一系统的迷你环境，将晶圆在被传输过程中隔离，避免晶圆受到污染。
- 替代人工装载搬运，能够与OHT天车系统进行对接，实现自动上下料及搬用。
- 可实现 SMIF Pod、晶圆和 Cassette 的有无检测，还可检测晶圆的凸片、斜片以及晶圆厚度。
- 可自动识别 Cassette 尺寸及 Cassette 状态检测功能。
- 可选 RFID 读写单元（支持RS232或以太网通讯）。
- 可存储 80种晶圆的 MAP 配方参数。
RJLP500
Open Cassette Stage 适用晶圆尺寸：8inch / 6inch
产品尺寸：470mm x 390mm x 1348mm 核心配置：Mapping、SEMI E63 Bolt、Wafer Protrusion、Wafer Size Detection
RJLP10200
Open Cassette Stage 适用晶圆尺寸：8inch / 6inch / 4inch
产品尺寸：470mm x 390mm x 1348mm 核心配置：SEMI E63 Bolt、Wafer Protrusion、Wafer Size Detection
RJLP300
Load Port 适用晶圆尺寸：12inch / 8inch
产品尺寸：472mm x 564.5mm x 1348mm 核心配置：E84、Mapping、Fly Out、RFID
RJLP11200
SMIF Port 适用晶圆尺寸：MASK(RSP150)
产品尺寸：472mm x 412mm x 1347mm 核心配置：RFID、E84、MASK Mapping、Carrier Present
RJLP10800
SMIF Port 适用晶圆尺寸：8inch / 6inch / 5inch
产品尺寸：472mm x 412mm x 1347mm 核心配置：E84、Mapping、RFID、Wafer Protrusion
Frame Load Port
Frame Load Port 适用晶圆尺寸：12inch / 8inch
产品尺寸：472mm x 598.5mm x 1348mm 核心配置：RFID、E84、Mapping、Fly out
