洁净机械手臂
适用环境：真空、大气、微水 丨 适配搬运物尺寸：2"、3”、100mm、125mm、150mm、200mm、300mm
锐洁根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作
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适配全工艺段的产品系列
JEL官方合作伙伴，日本JEL公司在中国大陆的独家指定代理商和技术支持服务商。
提供多种规格型号的大气、真空、防水洁净机械手臂，具体可根据客户需求定制。满足半导体、泛半导体行业的物料搬运。
手臂
条件：
清空条件
使用环境：洁净间内的真空环境 手臂：双臂 到达距离：310mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：50mm 可搬运质量：2.0kg以下（手臂第3关节处基准）
使用环境： 真空部：温度 15℃～50℃； 驱动结构内部：大气环境温度15℃～40℃ 手臂：单臂 到达距离：520mm（第3关节中心距离） 升降轴最大行程:20mm / 40mm 可搬运质量:2.0kg（第3关节换算）
使用环境：洁净间内的真空环境 手臂：单臂 到达距离：640mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：60mm 可搬运质量：10.0kg以下（手臂第3关节处基准）
使用环境：洁净间内的真空环境 手臂：单臂 到达距离：1290mm（被搬送物体中心到达距离） 升降轴最大行程：60mm 可搬运质量：10.0kg
使用环境：洁净间内的大气；温度15℃～40℃；工艺室温度最大450℃ 手臂：单臂 到达距离：635mm（臂第3关节中心基准） 升降轴最大行程：60mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）
