适配全工艺段的产品系列
JEL官方合作伙伴,日本JEL公司在中国大陆的独家指定代理商和技术支持服务商。
提供多种规格型号的大气、真空、防水洁净机械手臂,具体可根据客户需求定制。满足半导体、泛半导体行业的物料搬运。
使用环境:洁净间内的大气;温度15℃~40℃;工艺室温度最大450℃ 手臂:单臂 到达距离:635mm(臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程:60mm 可搬运质量:4.0kg(手臂第3关节处基准)
内容更新中,如需获取产品信息及解决方案等专属支持,敬请垂询。
使用环:境洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:1290mm(被搬送物体中心到达距离) 升降轴最大行程:400mm 可搬运质量:10.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气;温度15℃~40℃;工艺室温度 :15℃~50℃以下 手臂:单臂 到达距离:880mm(手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程:20mm / 32mm / 40mm / 60mm / 320mm 可搬运质量:10.0kg以下(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境;温度 15℃~40℃ 手臂:单臂 到达距离:1550mm(被搬送物体中心到达距离) 升降轴最大行程:400mm / 500mm / 600mm / 760mm / 900mm / 1500mm 可搬运质量:15.0kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:真空环境;温度15℃~40℃;工艺室温度15℃~50℃以下 手臂:双臂 到达距离:942mm(手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程:95mm / 105mm / 335mm
使用环境:洁净间内的大气环境;温度15℃~40℃ 手臂:双臂 到达距离:1550mm(被搬送物体中心到达距离) 升降轴最大行程:400mm / 500mm / 600mm / 760mm / 900mm 可搬运质量:15.0 kg(手臂第3关节处基准)
使用环境:洁净间内的大气环境 手臂:单臂 到达距离:555mm(被搬送物体中心到达距离) 升降轴最大行程:300mm
