SEMICON China 2025 丨 锐洁机器人携全系列产品亮相，全面展示多元化竞争力
2025-03-31
“申江三月雨初晴，芯涌英贤竞春声”
2025年3月26日至28日，以“跨界全球，心芯相联”为主题的SEMICON China 2025在上海新国际博览中心盛大举办。北京锐洁机器人科技有限公司亮相本次大会并设立了专属展台，展出了包括Clean robot、EFEM/Sorter、Load Port/SMIF Port、Parts等全系列产品。
为了更好的现场产品体验!我们带来了更多和实体设备技术专家
作为率先开展十余年业务的半导体自动化传输设备领先品牌，锐洁机器人展位吸引了众多业内专家和合作伙伴前来咨询并体验产品性能，并受到广泛肯定。
让我们一睹现场精彩!
Clean Robot
PLP搬运机械手—JEL JFR系列
■ 可高速、低震动进行搬运；
■ PLP最大尺寸为600mmx600mm，最大重量为4kg，最大尺寸和最大重量可同时对应；
■ 机械手为水平多关节结构,可对应2个Port;
■ 机械手手指搭载非接触校准功能;
■ 仅通过机械手即可确定被搬运物位置。
■ 可对应尺寸:
510mmx515mm,600mmx600mm；
可对应最大质量:4kg/最厚3mm。
■ 固定方式:
真空吸附(也可用其他方式进行固定)。
适用于真空环境&圆柱坐标工位布局的机械手—JEL SVCR3000系列
畅销型3轴圆柱坐标单臂洁净型机械手臂，稳定性好，性价比高，也可用于托盘搬运。
核心技术/参数：
■ 适用于真空环境，适应圆柱坐标工位布局；
■ 采用步进电机，高安全性，高稳定性；
■ 手臂关节处采用磁流体密封；
■ 真空密封：磁流体密封装置及波纹管；
■ 可搬运重量：手臂第三关节处基准2Kg以；
■ 重复定位精度±0.1mm以内；
■ 最高速度手臂轴550mm/s，旋转轴170mm/s，升降轴30mm/s;
■ 耐真空度1.33x10^-6Pa。
EFEM System
可配置多种上料单元，可搭载符合SEMI标准的FOUP、FOSB、Open Cassette等装载单元，亦可实现Lord Port和SMIF Port的混搭配置。
本产品是半导体工艺设备的前置晶圆传输单元，主要完成对其他工艺设备的晶圆自动化传输。
产品结构经过特殊设计并配备了微环境保持系统，可实现Class1的洁净度要求。
核心技术/参数：
■ 配备Wafer ID Reader模块，可精准高效的读取各种不同材质/不同尺寸晶圆上的条形码、二维码、数字及字母，最高可实现36000 Pcs/H 超高读取速率，识别准确率99.9%以上；
■ 机械手传片效率可达150片/h；
■ 重复精度±0.1mm 以内；
■ Aligner校准精度可达晶圆中心+0.1mm 以内，晶圆平边(缺口)±0.1度以内，对准所需时间≤3s；
■ End-Effector可选用真空吸附式、下托式、边缘夹持式、伯努利非接触式等多种晶圆固定方式；
■ End-Effector材质为高纯度陶瓷，可选用u 导电性特氟龙涂层表面处理；
■ End-Effector安装有翻转机构，可实现晶圆的0-180度之间的任意角度翻转。
Parts
■ 手指系列真空吸附/伯努利/边缘夹持/下托式手指；
■ 陶瓷类制品，支持来图定制；
■ 压力传感器&荷重计各种压力(供给/排气、大气压恢复、泄漏、清洗)、真空压以及各种成型载荷的控制(表面、研磨、组装)；
■ 高分子防滑垫背胶型、嵌入型、O圈型、特殊形状；
■ 加热器产品夹克式/带状/薄膜/硅胶加热器、保温带、温度控制器、保温隔热材料；
■ 高抗腐&高硬度涂层氟树脂涂层、陶瓷涂层、陶瓷+PTFE复合涂层。
截至目前，锐洁机器人已累计服务厂商800余家，提供产品10000台/套。用心思考、用心创造、用心服务，我们不仅制造稳定可靠的产品，更渴望为用户提供全面优异的使用体验。
未来，锐洁机器人将积极拓展国内外市场，为成为全球领先的半导体关键部件综合解决方案制造商继续奋斗。
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