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自动化装载台

锐洁独立研发的半导体晶圆自动装卸载系统，具有占 地面积小、自动化程度高的特点，能够有效的提高产 线效率，降低生产成本。产品包括FOUP Load Port 和SMIF Port。

  • SMIF Port

    本产品主要用于 SMIF pod 开关盒，通过 LOAD 与...

  • FOUP Load port

    本产品为可兼容300mm及200mm晶圆的Load Port。

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