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从装置外部混入内部的微粒子。主要通过改进连接处理装置与端口的进出口附近的形状，提高了气流的控制能力。装置内部产生的微粒子。采用了端口驱动部分（位于处理装置的侧面）上的布线与配管互不接触的设计，防止了在这一部分产生微粒子。处理后放回晶圆盒的晶圆产生的微粒子。增加了一种可利用N2气对晶圆盒内部进行清洁的机构，以防止晶圆产生的有机物再次附着。
