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Mapping 可实现晶圆有无、叠片、斜片检测；可搭载符合SEMI标准的FOUP、FOSB、转换平台+Cassette等多种装载单元；搭载载具自动识别功能；可选 RFID 读取器；TCP/IP 通讯方式；选配 SECS/GEM 接口；门保持采用真空吸附法；具备防夹功能；运行周期 开启操作：20s（包括Mapping操作），关闭操作10s（不包括Mapping操作）
