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北京锐洁机器人科技有限公司
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邮箱:xiaoshou04@reje.com.cn
地址:北京市经济技术开发区科创13街汇龙森科技园33幢C座603室

 

 

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ASUZAC精密陶瓷产品

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  • 应用案例
         日本ASUZAC可根据客户需求定制提供各种精密陶瓷产品,包括半导体产业晶圆搬运陶瓷手指、制造机台用配件、托盘等;液晶、太阳能领域大型制造设备用部件;电子部件领域烧成用框架、棚板、烧成治具、基板等。
       晶圆搬运陶瓷手指采用中空一体成型技术,可不用粘结剂来生产中空吸着用陶瓷手臂,可有效避免有机粘结剂遇热挥发和老化脱落问题,用途广泛,产品价格相对较便宜。
       托盘做为晶圆的固定以及在8英寸,12英寸机台上处理小口径晶圆时所用的治具,精密陶瓷托盘被广泛运用。陶瓷托盘的材质主要有氧化铝99.6,碳化硅,阻热陶瓷。也可根据客户需要,使用环境来设计可开发各式产品和素材。



中空一体成型品的制造尺寸如下:


广泛应用于半导体制造产业、液晶太阳能电池领域、电子部件领域、其他工业领域、教育机关、研究所等。
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