010-56532123加为收藏 | 设为首页
  • 锐洁首页
  • 公司概况
    公司简介 技术实力 公司荣誉
  • 产品中心
    Clean Robot机械手臂 行程可定制洁净机械手 TDK产品 半导体自动化设备 制造设备零部件
  • 解决方案
    半导体行业 LED行业 太阳能电池行业 电子行业 自动化机械行业 医疗行业
  • 新闻中心
    公司新闻 行业动态
  • 人才中心
    人才理念 人才招聘 员工风采
  • 在线服务支持
    常见咨询 故障分析 技术信息 通知
  • 联系锐洁
  • 半导体行业
  • LED行业
  • 太阳能电池行业
  • 电子行业
  • 自动化机械行业
  • 医疗行业

北京锐洁机器人科技有限公司
电话:010-56532123
邮箱:[email protected] / [email protected]
地址:北京市经济技术开发区科创13街汇龙森科技园33幢C座603室

 

 

当前位置: > 解决方案 > 半导体行业

半导体行业

锐洁机器手臂在半导体行业的解决方案  

 
EFEM System
       EFEM系统主要用于实现半导体设备晶圆的自动供给和卸载,降低生产成本,提高生产效率,同时保证了工艺精度和净化要求。该系统具有晶圆的自动扫描,自动传送,自动校准功能,并且可根据客户需要配备ID Reader(正反面),可以针对晶圆尺寸,Cassette数量,Aligner种类等进行系统定制。

 

8寸减薄晶圆倒片机系统
       锐洁研发的国内8寸减薄晶圆倒片机系统常运用在晶圆生产线中的晶圆片转移工序,支持多种厚度的晶圆在carrier与carrier、carrier 与box间的任意互传,其中carrier与box的互传支持层间纸的去除与覆盖。采用先进的伯努利机械手与伯努利aligner不会损伤减薄晶圆的表 面,减小客户的损失。支持SECS/GEM厂务通讯协议,历史数据可自动导出。
 
  • 公司概况

    公司简介 技术实力 公司荣誉
  • 产品中心

    Clean Robot机械手臂 行程可定制洁净机械手 TDK产品 半导体自动化设备 制造设备零部件
  • 解决方案

    半导体行业 LED行业 太阳能电池行业 电子行业 自动化机械行业 医疗行业
  • 新闻中心

    公司新闻 行业动态
  • 人才中心

    人才理念 人才招聘 员工风采
  • 在线服务支持

    常见咨询 故障分析 技术信息 通知

电话:010-56532123
邮箱:[email protected] / [email protected]
地址:北京市经济技术开发区科创13街汇龙森科技园33幢C座603室

Copyright © 2012-2013 北京锐洁机器人科技有限公司
京ICP备14009395号-2, All rights reserved.