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北京锐洁机器人科技有限公司
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带走行轴的洁净机械手

带走行轴的洁净机械手臂采用机械式绝对值编码器步进电机控制，在圆柱坐标型机械手臂的基础上增加了走行轴，长度可根据客户具体需求进行定制，最长可达3000mm，适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。

特点：

实现了集成5轴控制的Controller，示教简便。

可根据需求定制设计End-effector，能够对应2寸到12寸等不同尺寸的晶圆及各尺寸Frame。

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式。

全轴使用机械式绝对值编码器步进电机。

晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式。

手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质。

可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优选的手指。

详细技术参数如下所示：

用于EFEM，PE-CVD设备，AOI设备。