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北京锐洁机器人科技有限公司
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邮箱:xiaoshou04@reje.com.cn
地址:北京市经济技术开发区科创13街汇龙森科技园33幢C座603室

 

 

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带走行轴的洁净机械手

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       带走行轴的洁净机械手臂采用机械式绝对值编码器步进电机控制,在圆柱坐标型机械手臂的基础上增加了走行轴,长度可根据客户具体需求进行定制,最长可达3000mm,适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运。

特点:

实现了集成5轴控制的Controller,示教简便。
可根据需求定制设计End-effector,能够对应2寸到12寸等不同尺寸的晶圆及各尺寸Frame。
控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式。

全轴使用机械式绝对值编码器步进电机。
晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式。
手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质。
可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供优选的手指。
详细技术参数如下所示:


用于EFEM,PE-CVD设备,AOI设备。
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