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北京锐洁机器人科技有限公司
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邮箱:xiaoshou04@reje.com.cn
地址:北京市经济技术开发区科创13街汇龙森科技园33幢C座603室

 

 

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龙门式升降轴洁净机械手

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       龙门式升降轴洁净机械手臂(STCR4200-2000型机械手臂),在圆柱坐标型大气机械手臂的基础上增加了升降轴的行程,Z轴行程可达2000mm,具体可根据客户需求定制。

特点:

机械手本体及升降轴部分均具有独立排气功能。
控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式。
晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式。
手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质。
可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供优选的手指。


详细技术参数如下所示:


用于EFEM,PE-CVD设备,AOI设备。
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