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龙门式升降轴洁净机械手

产品简介
技术参数
应用案例

龙门式升降轴洁净机械手臂（STCR4200-2000型机械手臂），在圆柱坐标型大气机械手臂的基础上增加了升降轴的行程，Z轴行程可达2000mm，具体可根据客户需求定制。

特点：

机械手本体及升降轴部分均具有独立排气功能。

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式。

晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式。

手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质。

可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优选的手指。

详细技术参数如下所示：

用于EFEM，PE-CVD设备，AOI设备。