自动化装载台
锐洁提供全面的载台产品解决方案：Load Port & SMIF Port & Frame Load Port & Open Casette Stage。锐洁独立研发的半导体晶圆自动装卸载系统，具有占地面积小、自动化程度高的特点，能够有效的提高产线效率，降低生产成本。
FOUP Load Port
Load Port 用于实现 8/12英寸晶圆的自动装载与卸载，确保晶圆在工艺流程中的洁净度，同时可与 AGV、OHT 等自动化运输设备协同，实现晶圆盒的无人化交接。可广泛应用于Lithography、Etching、CVD、PVD、Cleaning、Inspection and Metrology等半导体制程设备。
SMIF Port
用于半导体芯片制造产线实现 SMIF Pod 自动开关盒，避免晶圆受到污染，替代人工装载搬运，对接 OHT 天车系统，实现自动上下料及搬用功能，满足FAB厂自动化生产需求。
Load Port 产品特性
- Mapping 可实现晶圆有无、叠片、斜片检测。
- 可搭载符合 SEMI 标准的 FOUP、FOSB、转换平台+Cassette 等装载单元。
- 搭载载具自动识别功能。
- 可选 RFID 读取器。
- TCP/IP 通讯方式。
- 选配 SECS/GEM 接口。
- 门保持采用真空吸附法。
- 具备防夹功能。
- 运行周期开启操作：20s (包括Mapping操作)，关闭操作10s （不包括Mapping操作）。
SMIF Port 产品特点
- 用于放置和开关 125 mm、150 mm、200 mm 晶圆的 SMIF Pod，开盒方式为上开盖。
- 符合SEMI E63标准，开关盒时间：Open Pod≤15s ；Close Pod≤15s。
- 利用单一系统的迷你环境，将晶圆在被传输过程中隔离，避免晶圆受到污染。
- 替代人工装载搬运，能够与OHT天车系统进行对接，实现自动上下料及搬用。
- 可实现 SMIF Pod、晶圆和 Cassette 的有无检测，还可检测晶圆的凸片、斜片以及晶圆厚度。
- 可自动识别 Cassette 尺寸及 Cassette 状态检测功能。
- 可选 RFID 读写单元（支持RS232或以太网通讯）。
- 可存储 80种晶圆的 MAP 配方参数。
Frame Load Port
Frame Load Port 适用晶圆尺寸：12inch / 8inch
产品尺寸：472mm x 598.5mm x 1348mm 核心配置：RFID、E84、Mapping、Fly out
RJLP10800
SMIF Port 适用晶圆尺寸：8inch / 6inch / 5inch
产品尺寸：472mm x 412mm x 1347mm 核心配置：E84、Mapping、RFID、Wafer Protrusion
RJLP11200
SMIF Port 适用晶圆尺寸：MASK(RSP150)
产品尺寸：472mm x 412mm x 1347mm 核心配置：RFID、E84、MASK Mapping、Carrier Present
RJLP300
Load Port 适用晶圆尺寸：12inch / 8inch
产品尺寸：472mm x 564.5mm x 1348mm 核心配置：E84、Mapping、Fly Out、RFID
GCR4210-300-AM
使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：555mm（被搬送物体中心到达距离） 升降轴最大行程：300mm
■ 可在医疗、生化相关设施里的无菌室、洁净室内使用
LTHR4400C
使用环境：洁净间内的大气环境；温度15℃～40℃ 手臂：双臂 到达距离：1550mm（被搬送物体中心到达距离） 升降轴最大行程：400mm / 500mm / 600mm / 760mm / 900mm 可搬运质量：15.0 kg（手臂第3关节处基准）
■ 对应玻璃基板搬运的4轴圆柱坐标型洁净机械手臂LTHR4000系列 ■ 适用于液晶面板生产设备及检测设备等的玻璃基板搬运 ■ Z轴升降范围超过760mm以上的部分为多段式，能够有效地降低搬运高度
FTVHR4750
使用环境：真空环境；温度15℃～40℃；工艺室温度15℃～50℃以下 手臂：双臂 到达距离：942mm（手臂第3关节中心基准） 升降轴最大行程：95mm / 105mm / 335mm
■ 对应玻璃基板搬送的4轴圆柱坐标型连杆式真空洁净机械手臂FTVHR4000系列 ■ 适用于液晶面板生产设备及检测设备等的玻璃基板的搬运
LHR3400C
使用环境：洁净间内的大气环境；温度 15℃～40℃ 手臂：单臂 到达距离：1550mm（被搬送物体中心到达距离） 升降轴最大行程：400mm / 500mm / 600mm / 760mm / 900mm / 1500mm 可搬运质量：15.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 支持玻璃电路板的3轴圆柱坐标型洁净机械手LHR3000系列 ■ 适用于液晶制造设备及检查设备等的玻璃电路板的搬运 ■ Z行程760mm以上的Z轴采用多级式，因此可以实现低取片位
LVHR3440S
使用环境：洁净间内的大气；温度15℃～40℃；工艺室温度 ：15℃～50℃以下 手臂：单臂 到达距离：880mm（手臂第3关节中心基准） 升降轴最大行程：20mm / 32mm / 40mm / 60mm / 320mm 可搬运质量：10.0kg以下（手臂第3关节处基准）
■ 对应玻璃基板搬运的3轴圆柱坐标型真空洁净机械手臂LVHR3000系列 ■ 适用于液晶面板生产设备及检测设备等的玻璃基板搬运
JCR4400
使用环：境洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：1290mm（被搬送物体中心到达距离） 升降轴最大行程：400mm 可搬运质量：10.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型洁净机械手臂
MASK 传输机械手臂
内容更新中，如需获取产品信息及解决方案等专属支持，敬请垂询。
GTVCR5330
使用环境：洁净间内的大气；温度15℃～40℃；工艺室温度最大450℃ 手臂：单臂 到达距离：635mm（臂第3关节中心基准） 升降轴最大行程：60mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列 ■ 能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局 ■ 通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于减小真空腔室的内部容积
JVCR4330
使用环境：洁净间内的真空环境 手臂：单臂 到达距离：1290mm（被搬送物体中心到达距离） 升降轴最大行程：60mm 可搬运质量：10.0kg
■ Micro LED用4轴真空水平多关节洁净机械手臂，适用于LED生产设备
SVCR3330S
使用环境：洁净间内的真空环境 手臂：单臂 到达距离：640mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：60mm 可搬运质量：10.0kg以下（手臂第3关节处基准）
■ 真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列 ■ 双手指结构可以在真空腔室内搬运4.0kg以下的托盘 ■ 相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势
SVCR3260
使用环境： 真空部：温度 15℃～50℃； 驱动结构内部：大气环境温度15℃～40℃ 手臂：单臂 到达距离：520mm（第3关节中心距离） 升降轴最大行程:20mm / 40mm 可搬运质量:2.0kg（第3关节换算）
■ 真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列 ■ 相比SVHR系列机械手臂，可搬运质量提升2倍，具有较好的性价比优势 ■ 另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性，方便客户对设备进行升级改造
SCR3160CS
使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：340mm（手臂第3关节中心） 升降轴最大行程：200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm 可搬运质量：3.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 适用于半导体生产设备内部及检测设备等的晶圆搬运
MCR3160C
使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：400mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：300mm / 400mm / 500mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运 ■ 全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求
STCR4160SN 真空吸附方式
使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：双臂 到达距离：475mm（手臂第3关节中心基准） 升降轴最大行程：200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量：3.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 适用于超级洁净间要求的4轴圆柱坐标洁净机械手臂 ■ 在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题，适用于减薄晶圆以及晶圆四周边缘区域真空吸附方式的新型双臂机械手臂
SWCR3160CS
使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：312mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：200mm / 300mm 可搬运质量：3.0kg以下（手臂第3关节处基准）
■ 防水3轴圆柱坐标型机械手臂SWCR3000系列（配备300mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构） ■ 在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性、碱性环境下搬运半导体晶圆
STVCR4160S
使用环境：洁净间内的真空环境 手臂：双臂 到达距离：310mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：50mm 可搬运质量：2.0kg以下（手臂第3关节处基准）
■ 真空4轴圆柱坐标型机械手臂STVCR4000系列 ■ 可用于真空环境下300mm以内的各种搬运物
GCR4280
使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：553mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：300mm / 420mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 适用于半导体生产设备，检测设备等的大尺寸晶圆（300mm、450mm）搬运
MTCR4160
使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：双臂 到达距离：315mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：300mm / 400mm / 500mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 适用于半导体生产设备内部及检测设备等的晶圆搬运 ■ 全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求
SCR3160CSN
使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：340mm（手臂第3关节中心基准） 升降轴最大行程：200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量：3.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题，适用于2英寸～300 mm晶圆传输的单臂机械手臂
GCR4210
使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：400mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：300mm / 320mm / 500mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）
■ 适用于搬运晶圆尺寸300mm内的半导体制造及检测设备
