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北京锐洁机器人科技有限公司
电话:010-56532123
邮箱:xiaoshou04@reje.com.cn
地址:北京市经济技术开发区科创13街汇龙森科技园33幢C座603室

 

 

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洁净机械手臂

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        我司作为日本JEL公司国内正规代理商,提供各种型号洁净机械手臂,主要用于半导体生产设备、LED生产设备中的刻蚀设备及液晶生产设备等。
       STCR4200-300、STCR4160-300-CM、SAL38C2HV型号机械手货期短。




特点:
双手臂结构,晶圆搬运效率更高,可使用AC200伏电压。
可搬运重量:手臂第3关节处基准4kgf以下。
适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式。
配备动作监视器。
控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式。
全轴使用绝对值编码器规格的AC伺服电机。

  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆。
  • 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式。
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质。
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供优质的手指。
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   详细技术参数(STCR4000系列)如下所示:



用于EFEM,PE-CVD设备,AOI设备。
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