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北京锐洁机器人科技有限公司
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洁净机械手臂

产品简介
技术参数
应用案例

我司作为日本JEL公司国内正规代理商，提供各种型号洁净机械手臂，主要用于半导体生产设备、LED生产设备中的刻蚀设备及液晶生产设备等。
STCR4200-300、STCR4160-300-CM、SAL38C2HV型号机械手货期短。

特点：

双手臂结构，晶圆搬运效率更高，可使用AC200伏电压。

可搬运重量：手臂第3关节处基准4kgf以下。

适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式。

配备动作监视器。

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式。

全轴使用绝对值编码器规格的AC伺服电机。

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆。
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式。
手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质。
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优质的手指。

详细技术参数（STCR4000系列）如下所示：

用于EFEM，PE-CVD设备，AOI设备。